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Advantages to
fabricaton facility
新型エコブラシ導入のメリット
日本は半導体復活に向けて大きく舵を切りました。
Grace  The  Worldは新型エコブラシで、CMP洗浄精度を一気に世界最先端レベルに押し上げます。従来型ブラシにおける構造的弱点を解決することで、洗浄力の大幅UPは元より、同時に純水使用量と廃棄物を大幅に削減することが可能となりました。まさにCMP洗浄の革命が、TC-23エコブラシで始まります。

TC-23エコブラシは、アメリカ・サクラメント生まれ。世界の半導体最先端プロセス現場との試行錯誤を繰り返し、満を持して日本市場に上陸しました。新型エコブラシでは有機物汚染の要因であるPVA使用量をギリギリまで削減し(メーカー社内比70%)、且つメタルコンタミを溶出しない樹脂をモジュールフレームとコアに使用することで、大きなイノベーションを実現しました。

このことにより、純水の分配と流路をコントロールでき、最先端プロセスが求める清浄度を提供することが可能となりました。
Data
TC-23エコブラシは、洗浄精度を向上させ、同時に純水使用量とPVA廃棄物を削減します。
従来型ブラシ
①PVA使用量多い
②一定の枯らし運転必要
③純水の分配と流路の制御は難しい
④ノジュール間に多くの純水が流れる
⑤ブラシ単価はリーズナブル
⑥純水使用量、PVA廃棄など環境負荷が比較的大きい
TC-23エコブラシ
①PVA使用量を大幅に削減
②枯らし運転時間を大幅短縮
③水流は均一にノジュール先端に集中
④純水使用量を大幅削減
⑤ブラシ単価は高いが洗浄力が高く且つ長寿命
⑥環境負荷を含めトータルコストは従来型と比較し
 同等以下
PRECISE WATER CONTROL
    ●構造上、水はノジュール先端から排出されます。
    ●そのため、WF表面からノジュールで掻き上げたパーティクルは、ノジュール先端から容易に排出されます。
    ●ノジュール同士の隙間や側面から漏れ出していた水を抑制することで、水の使用量は40%以上削減可能(メーカー社内比)。
    ●ノジュール形状によりパーティクルキャッチ力そしてパージ力が変わります。お客様の状況に応じたデザイン提案力がございます。
TC-23は洗浄精度UPとコスト削減と環境対策に貢献!激化する半導体競争を勝ち抜く、革命洗浄ツール。
ノジュールのデザインと提案力があります。
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